Ürün ayrıntıları:
Ödeme & teslimat koşulları:
|
Resolution: | SE:3nm@30KV,8nm@3kV; BSE :4nm@30KV | Magnification: | 1x-450000x |
---|---|---|---|
Specimen Stage: | Five axes stage | Electron Gun: | Pre-aligned tungsten filament |
Vurgulamak: | sem elektron mikroskobu,sem makinesi |
Kyky 60 yılı aşkın bir süredir SEM üretim deneyimi olarak, tüm EM serisi, elektron ışını litografisi tadilat, Lab6 yükseltmesi gibi SEM+olarak SEM+olarak eski sistemi destekler, STM, AFM, ısıtma aşaması; mikro-nano manipülatör vb. Sistemde, pazarda analizin çoğunu eklemek için çoklu arayüze sahiptir.
Avantajlar:
◆ İsteğe bağlı düşük vakum modülleri (LVSE, LVBSE)
◆ Zengin otomasyon işlevleri
◆ Sütun/Oda/Elektrik Sistemi Özelleştirme
◆ İsteğe bağlı büyük boyutlu oda
◆ Geniş Saha Gezinme Kamerası
◆ Zengin genişleyen ekler
Özellikler:
Öğe | EM6910 Tungsten Filament SEM | |
Çözünürlük | SE: 3nm@30kv, 8nm@3kv ; BSE: 4nm@30kv | |
Büyütme | 1x-450000x | |
Elektron tabancası | Önceden hizalanmış tungsten filament | |
Hızlanma Voltajı |
0.2kv-30kv
|
|
Vakum sistemi
|
Turbo moleküler pompa +mekanik pompa
|
|
Nesnel diyafram | Vakum sistemi dışında ayarlanabilir molibden diyafram | |
Örnek aşaması | Beş eksen aşaması | |
Seyahat | X (otomatik) | 0 ~ 80mm |
Menzil | Y (otomatik) | 0 ~ 50mm |
Z (Manuel) | 0 ~ 30mm | |
R (Manuel) | 360 ° | |
T (Manuel) | -5 ° ~ 70 ° | |
Maksimum örnek çapı | 175 mm | |
Dedektör |
İkincil elektron dedektörü
|
|
Yarıiletken BSE Detektörü ※
|
||
Kızılötesi CCD
|
||
Düşük Vasuum SED ※/ Düşük Vaküum BSED ※
|
||
Değiştirme | Sahne yükseltmesi; EBL; STM; AFM; Isıtma aşaması; Kriyo aşaması; Gerilme aşaması; Mikro-nano manipülatör; SEM+Kaplama Makinesi; SEM+Lazer | |
Aksesuarlar | Lab6, X-ışını Dedektörü (EDS), EBSD, CL, WDS, Kaplama Makinesi | |
Düşük vakum fonksiyonu ※
|
Vakum Seviyesi 10-270PA SE: 4nm@30kv, 50pa
|
İlgili kişi: Ms. Wang He
Tel: 86-10- 82548271
Faks: 86-010-62564613