Manyetik Olarak Kaldırılan Turbomoleküler Vakum Pompası Düşük Titreşimli CXF-320/3000E

Maglev Pompa , CXF-320/3000E , Waterr soğutma , ISO-F , Harici kontrolör

Manyetik olarak havaya kaldırılan moleküler pompalar, şaftları manyetik kuvvet sayesinde desteklenen pompalardır.

Seri manyetik olarak levitated moleküler pompalar, modern yarı iletken üretimi, çip üretimi, endüstriyel kaplama ve bilimsel enstrümanlar alanlarındaki uygulama gereksinimlerini karşılamak için KYKY tarafından geliştirilen vakum üretim ekipmanıdır.

Bir manyetik yatak, bir sensör ve bir kontrol sisteminden oluşan elektromanyetik yatak aynı zamanda “aktif manyetik havaya kaldırılmış ayılar” olarak da adlandırılır.Bu tasarım, dinamik tepki ve zamanında ayar, yüksek hızlı şaft ve güvenilir çalışmaya sahiptir.

Avantajlar:

1. Çalışma sırasında sıfır sürtünme ve düşük güç tüketimi

2. Pompalar için yağlama olmadan gerçekten temiz yüksek vakum ve ultra yüksek vakum elde etmek kolaydır

3. Uzun süreli aşındırıcı gazları çıkarma kabiliyeti

4. Hassas seramik bilyeler ile rulmanların korunması sayesinde yüksek güvenlik ve uzun hizmet ömrü

5. Ani kapanma durumunda güç üretme işlevi

6. Sürtünmesiz

7. Kirlilik içermez

8. Bakım gerektirmez

9. Düşük titreşim

10. herhangi bir yönde kurulur.

teknolojiler:

• Manyetik Rulman için Kontrol Teknolojisi: 5 eksenli manyetik olarak havaya kaldırılır.Bu tasarım, gelişmiş uluslararası kontrol teorisine dayanan dinamik aktif kapalı devre manyetik süspansiyon kontrol teknolojisi vasıtasıyla dinamik tepkiye ve zamanında ayarlamaya sahip olabilir, böylece yüksek hızlı şaftın kararlı, havada asılı ve güvenilir çalışma gibi önemli avantajlarını garanti eder.
• Motor Sürücü Kontrol Teknolojisi: Yüksek verimli, yüksek hızlı DC motor ve servo kontrol sistemi, manyetik olarak kaldırılan seri pompalara uygulanır, böylece motorun maksimum enerjisine sahip olur ve şaftın dönüş hızını otomatik olarak telafi eder, böylece kararlı başlatma, güvenilir çalışma ve otomatik düzenleme gerçekleştirir. dinamik enerjinin işlevi.
• Karbon fiber kompozit rotor teknolojisi: Seri manyetik süspansiyonlu moleküler pompaların turbo rotorları, yüksek mukavemetli alüminyum alaşımı ve hafif karbon fiberi birleştirerek yapılır.Tüm alüminyum alaşımlı rotorlarla karşılaştırıldığında, turbo rotorlar, yüksek dönüş hızı, yüksek performans ve yüksek güvenilirlik hedeflerine ulaşılabilmesi için ağırlıkta büyük azalma ve mukavemette büyük artış ile karakterize edilir.
• Korozyona dayanıklı teknoloji: Seri manyetik süspansiyonlu moleküler pompaların odalarındaki parçaların yüzeyleri, yarı iletken üretim süreçlerinde korozif gazların neden olduğu korozyona uzun süre dayanabilmesi için özel işlemden geçirilir.Ek olarak, pompalardaki düşük vakumlu kısımları korumak için N2 gibi soy gazlar pompaların şaftına tamamen doldurulur, böylece korozif gazları uzun süreler boyunca istikrarlı bir şekilde tahliye etme işlevi gerçekleşir.
• Isıtma sıcaklığı kontrol sistemi: Seri manyetik olarak levitated moleküler pompalar, bir elektrikli ısıtıcı ve bir sıcaklık kontrolörü ile donatılmıştır, böylece soğutma suyu, hava-kemik ısıtması, elektrikli ısıtma ve koruyucu gazlar tarafından taşınan ısı, çalışma sırasında izlenebilir ve kontrol edilebilir, pompalardaki sıcaklık muhafaza edilebilir. uzun vadede bir miktar değer, bazı gaz halindeki maddeler normal sıcaklıkta katı maddelere dönüştürülmez ve pompalarda biriktirilmez ve dağlama gibi özel işlem gereksinimleri karşılanabilir.

Özellikler:

Uygulamalar:

Seri manyetik olarak levitasyonlu moleküler pompalar, esas olarak yarı iletken imalatı, klips imalatı, endüstriyel kaplama ve bilimsel enstrümanlar, özellikle aşındırma, CVD, PVD ve iyon implantasyonunda bulunan aşındırıcı gazların çıkarılması ve normal sıcaklıkta kolayca pıhtılaşan gazların çıkarılması için uygulanır.