Ürün ayrıntıları:
Ödeme & teslimat koşulları:
|
flanş: | DC150CF | Pompalama Hızı: | 420L/s Hava |
---|---|---|---|
Nihai Basınç: | 1E-8 Pa | Voltaj: | -5KV |
Vurgulamak: | varian iyon pompası,yıldız hücresi iyon pompası |
İyon Pompası , 3L-400C , DN150CF , 420L/s Hava , 85L/s Ar , -5KV
Sputter-ion pompası, temiz ve ultra yüksek vakum elde etmek için vakum üretim ekipmanıdır. İyon pompası, sürekli çalışan destek pompası gerektirmeyen kapalı bir sistemde çalışır.
Avantajlar:
Bu pompa serisi, temizlik, yüksek vakum derecesi, sıfır gürültü, sıfır titreşim ve kullanım kolaylığı gibi avantajlara sahiptir.
Uygulamalar:
Püskürtme iyon pompası, yağsız ultra yüksek vakum setinin ana pompasıdır ve yüksek enerjili parçacık hızlandırıcı, kontrollü termonükleer reaksiyon aparatı, elektrikli vakum cihazı, yarı iletken malzeme, elektronik mikroskop ve kütle gibi bilimsel deney aparatlarına uygulanabilir. spektrometre ve ultra yüksek vakum gerektiren diğer endüstriyel ekipmanlar.
Prensip:
Anot malzemesi paslanmaz çelik namlu ve katot istitanium levha malzemesidir.Penning deşarj işlemi, manyetik alan ve elektrik alanın ortak etkisi altında gazı iyonize ederek gazın dışarı atılmasını gerçekleştirir.
Triyot iyon pompası, soy gaz için pompalama hızını artırmak için geliştirilmiştir;atıl gaz iyonları, katodun titanyum ızgarasına sıyırma insidansına tabi tutulur, daha sonra nötralize edilir ve titanyum film ile gömülmek üzere pompa duvarına ve anoda yansıtılır.Pozitif iyon bombardımanı nedeniyle pompa duvarında gömülü olan inert gaz salınmayacağından, inert gazın pompalama hızı artar.
Özellikler:
modeli | 3L-400C | |||
flanş | DN150CF | |||
Pompalama hızı (L/S) | ( hava) | 420 | ||
pompalama hızı | (Ar) | 85 | ||
Başlatma basıncı (Pa) | ≤5×10-4 | |||
nihai basınç (Pa) | 1×10-8 | |||
(℃) pişirme sıcaklığı | <200 | |||
manyetik ile | ||||
manyetik olmadan | <300 | |||
çalışma voltajı (KV) | -5 | |||
elektrot ünitesi | 4 | |||
boyut (mm) | 200×140(4-M12) | |||
U*G*Y (mm) | 500×265×600 | |||
(kg) ağırlık | 153 |
İlgili kişi: sales
Tel: +8613810212935